一、被抽空间内的大气(与被抽容积有关);
二、工艺过程中放出的气体(包括生成的和引入的气体,与时间、沮度、压强和生产工艺有关);
三、裸露在真空中的表面放气(与材料的种类、表面积、时间、温度和压强等有关);
四、漏入及渗透的气体(与系统元件的漏气率、设备的动、静密封构件的焊接质量以及结构材质有关);
五、由材料蒸汽压引起的挥发性气体(与温度和压强有关)。
为保证冶金工艺过程的需要,真空系统的设计就是针对上述所需抽除的气体流众,来选择合适的各种真空元件—泵和阀门等,并按抽气过程提出合理的布置方案,以达到抽除被抽空间内的气体,克服放气和漏气,使真空室始终能保持所需的真空度。