据迅达真空泵了解在现代工业中，干式真空泵很早就出现了，但没有明确的定义。就代替油封式机械泵来说，一般通用的说法是: 能在大气压到10-2Pa的压力范围内工作，在泵的抽气流道如泵腔）中，不能使用任何油类和液体、排气口与大气相通，能连续向大气中排气的泵，人们把它称为干式真空泵也有的称为无油真空泵。

    目前市场上的干式真空泵种类很多。根据基本原理可分为容积式的无油真空泵与动量传输式的无油真空泵。

    1、容积式的无油真空泵，例如多级罗茨泵、爪型泵、往复式活塞泵、螺杆式泵和涡旋式泵等。这种干式泵的极限压力一般为0.1～10Pa， 抽速为0.01～0.04m。

    2、动量传输式的无油真空泵，如涡轮式无油泵。排气侧与大气相接，在连续流状态下压缩比较高。它是一种粗抽泵，可从大气压抽到1022Pa。在结构上采用径向流和周向流泵的复合式结构，多级串联抽气。这种涡轮式泵的极限压力约为10-2Pa，抽速为0.02～0.15m 3?s。牵引型干式泵也属于动量传输式的干式泵。

    这些干式泵和油封式机械泵相比，达到同样的极限压力，其残余气体成分则全然不同，经分析结果明，油封泵的残余气体，CnHm气体碳氢化合物气体）为其主要成分，而干式泵的残余气体为空气的组成成分。这就证实了干式泵的抽气不再有油的污染了。

    有些干式真空泵在结构设计上，如泵的传动齿轮和轴承等仍在使用润滑油，也有用合成油，如PFPE油和其油脂等，并采取一定的措施使油蒸汽在泵腔内不存在，严格来说不是全无油的泵，经迅达真空泵厂分析，这种合成油的成分在泵入口处是微乎其微的，并无影响。