一、压缩功
压缩功是不可避免的，也是不可能人为减少的，它只随入口压力的变化而变化。减少无用压缩功只能考虑减少和消除漏气所造成的损失。气镇所消耗的功率也是压缩功，它取决于气镇量的大小。而气镇量又取决于被抽气体中可凝蒸气量的多少。所以应该按被抽气体中可凝蒸气量来调节气镇量，这样既能完全抽除掉可凝蒸气，又能恰到好处的控制压缩功的损耗。
二、摩擦功
通常摩擦功约占总功率的20%~25%左右，尤其在低压和极限压力时，泵消耗的功率主要就是摩擦功，所以应尽量减少摩擦功的损耗。
1、机械摩擦损失
机械摩擦损失包含了所有转动零部件与静止零部件、转动零部件与转动零部件之间的摩擦损失，为了减少摩擦损失，可以适当放宽间隙，在提高零部件耐磨性的基础上减少摩擦接触面积。例如，减少滑阀(杆)进气侧与导轨的接触面积，减少滑阀(环)内圆与偏心轮外圆的接触面，在偏心轮两侧加挡圈，防止偏心轮两侧面与泵盖和中隔板发生摩擦等。减少零部件的质量，例如减小滑阀的
质量，对降低滑阀(杆)与导轨、滑阀(环)与偏心轮、导轨与泵体小缸之间的摩擦，也是有益的。
2、轴承摩擦损失
轴承摩擦损失也属于机械摩擦损失，但有其特殊性。首先，要采用正规的轴承产品，谨防冒牌产品，以免产生不必要的摩擦损失。轴承的润滑是非常重要的一环，少油或缺油都将导致不必要的磨擦损失和轴承的损坏，因此应尽可能采用单独供油或润滑脂。
3、液体的摩擦损失
真空泵油在泵中起了密封、润滑、冷却和顶开排气阀的作用，所以泵油参与了压缩和摩擦，又减少了各零部件之间的摩擦。对于没有设置油泵的滑阀泵，只要滑阀与泵盖、中隔板之间的间隙适当，泵的进油量会自动调节。但如配有油泵，则油泵的流量必须经过仔细计算，通常为(7~10)×10-4S(S 为泵的抽速L/s)，如油量过大，进入泵后将使真空泵变成油泵，不但压缩功增加，而且摩擦损失急剧增加。