迅达真空泵厂认为磁控溅射镀膜机常见的四个问题:
一、膜层灰暗及发黑
1、真空度低于0.67Pa。应将真空度提高到0.13-0.4Pa。
2、氩气纯度低于99.9%。应换用纯度为99.99%的氩气。
3、充气系统漏气。应检查充气系统,排除漏气现象。
4、底漆未充分固化。应适当延长底漆的固化时间。
5、镀件放气量太大。应进行干燥和封孔处理
二、膜层表面光泽暗淡
1、底漆固化不良或变质。应适当延长底漆的固化时间或更换底漆。
2、溅射时间太长。应适当缩短。
3、溅射成膜速度太快。应适当降低溅射电流或电压
三、膜层色泽不均
1、底漆喷涂得不均匀。应改进底漆的施涂方法。
2、膜层太薄。应适当提高溅射速度或延长溅射时间。
3、夹具设计不合理。应改进夹具设计。
4、镀件的几何形状太复杂。应适当提高镀件的旋转速度
四、膜层发皱、龟裂
1、底漆喷涂得太厚。应控制在7—lOtan厚度范围内。
2、涂料的粘度太高。应适当降低。
3、蒸发速度太快。应适当减慢。
4、膜层太厚。应适当缩短溅射时间。
5、镀件温度太高。应适当缩短对镀件的加温时间
以上信息是迅达真空泵为您提供!