一、迅达真空泵告诉您:系统启动时,首先接通扩散泵的冷却水,调整水温继电器的温度设定值,然后开动机械泵进行粗抽。
二、启动机械泵前,要检查泵的油位是否合乎要求,高真空阀及前级阀是否关闭。打开粗抽阀,在中小型抽气系统中,只需要简单的粗抽管道。在某些特殊要求的大型真空室里,可采用多步程序进行粗抽:首先,可通过一个小直径的孔或旁路管道对真空室进行粗抽,当压力降到没有紊流存在时,再打开主粗抽阀门。
三、迅达真空泵厂认为当真空室内的压力降到100Pa之后,可打开前级管道阀并给扩散泵加热器通电。如果扩散泵已经处于真空封闭状态,则可在步骤1) 中同时加热扩散泵。当扩散泵刚开始通电加热时,如果电源有调压器时,开始可适当增加点电压,但泵油接近于蒸发温度时应把电压调回到规定电压,这样可加快起动。但应注意时间过长会造成泵油裂化。
四、一般将系统粗抽到15~20Pa左右时,关闭粗抽阀,等扩散泵正常工作后(即油蒸汽射流正常喷射),打开高真空阀进行抽气。
五、如果扩散泵正常工作一段时间后,被抽容器的真空度仍不提高,则说明系统漏气率太大,应当关闭高真空阀,待系统漏率符合要求时再打开高真空阀进行抽气。